中日韩视频免费观看-亚洲一区二区视频在线免费观看-中文av日韩一区二区-亚洲色图少妇熟女偷拍自拍

上海溪拓科技

專業(yè)的實驗室儀器設備服務商

服務熱線:021-60195846

技術文章

ARTICLE

當前位置:首頁技術文章EBIRCH(電子束誘導電阻變化)分析方法簡介

EBIRCH(電子束誘導電阻變化)分析方法簡介

更新時間:2024-12-13點擊次數(shù):789

EBIRCH (Electron Beam Induced Resistance Change)

背景:

短路(short)故障的缺陷定位一直是現(xiàn)代先進納米器件失效分析(FA)的一大挑戰(zhàn)。近年來,電子束誘導電阻變化(EBIRCh)技術已被應用于故障分析。EBIRCH技術與基于 SEM 的納米探測系統(tǒng)相結合,不僅可以直接對可疑橋接部位進行電學表征,還能以SEM分辨率直接精確定位缺陷位置。

Short故障是半導體器件中最常見的電氣故障之一。發(fā)射顯微鏡(EMMI)或光束誘導電阻變化(OBIRCH)已被廣泛用于short缺陷定位。它們有效地發(fā)現(xiàn)有缺陷的芯片區(qū)域或有問題的電路塊。然而,由于分辨率的限制,這種基于光學的技術無法滿足納米級定位的要求,而且整個芯片級測試或PAD結構是缺一不可的。

如果需要探測IC內(nèi)部特定Metal/Via和Poly/Contact結構,就需要EBIRCH(電子束誘導電阻變化), 可以對缺陷(defects)位置納米級定(50nm)。

EBIRCH原理

EBIRCH 使用AC和DC模式監(jiān)控兩個探針之間的電阻變化??蓪蓚€頂端施加額外的偏置電壓,以使故障對電子束的電子注入敏感。故障響應的強度取決于其對電子束注入的敏感度。

通過兩個納米探針連接IC的PAD,Metal或者Via上,形成電流回路,同時給與直流偏置電壓。當電子束探測樣品時,材料或結構由于電子束照射產(chǎn)生電阻的變化,從而對應的電流變化。探針將這種微弱的信號通過放大器放大并成像。

EBIRCH可探測IC內(nèi)部的各Metal層和Poly/Contact層,通過探測電流的變化,定位Short或者偏高阻抗的失效位點。

EBIRCH(電子束誘導電阻變化)分析方法簡介



EBIRCH優(yōu)勢

針對缺陷的形貌,EBIRCH生成亮點較為集中,更有效于準確定位異常位置,亮點尺寸約小于 100nm2;而OBIRCH生成亮點則較為發(fā)散,亮點尺寸約大于 750nm2。


與EBAC的區(qū)別

EBAC只能針對open類型的interconnect 的問題,偵測阻值需大于1MΩ,若遇高阻抗以至于direct short則需借助 EBIRCH。隨著制程縮小,因阻抗造成的性能問題也隨之增加,在能夠定出問題線路的前提下,EBIRCH 便是非常有力的工具。

EBIRCH(電子束誘導電阻變化)分析方法簡介


更多EBIC/EBAC/RCI/EBIRDH方法請關注德國Kleindiek EBIC Amplifier和 Nanoprobing System。





返回列表
  • 服務熱線 021-60195846
  • 電子郵箱

    info@xtg-tech.cn

掃碼加微信

Copyright © 2025 上海溪拓科學儀器有限公司版權所有    備案號:滬ICP備15008989號-2

技術支持:化工儀器網(wǎng)    sitemap.xml

欧美一区二区三区人妻熟妇| av天堂网站在线观看| 国产丝袜美腿在线观看| 国产口爆一区二区三区| 免费女性啪啪无遮挡网站| 午夜神马福利激情视频| 日本中文字幕在线播放一区| 亚洲国产精品伦理在线看| 国产欧美激情一区二区 | 国产成人亚洲欧美激情| 后入视频国产在线观看| 99热这里只有精品在线| 黄色av链接在线观看| 91精品人妻一区二区| 日本免费精品一区二区三区中 | 欧美激情网页一区三区| 日本师生三片在线观看| 免费不卡无码毛片观看| 国产高跟丝袜女王调教| 91麻豆成人国产在线观看| 国产精品久久一区二区三区蜜桃| 日韩欧美黄色三级视频| 欧美激情一区二区亚洲专区| 丰满少妇一区二区自拍区| 免费欧美一级黄片播放| 国产精品毛片一区内射| 欧美精品一区二区三区在线| 色综合一区二区日本韩国亚洲 | 中文字幕亚洲精品视频| 国产又爽又乱的视频在线| 97在线观看免费播放| 91性感视频在线播放| 日韩久久精品国产亚洲av成人| 亚洲成人免费电影久久| 国产精品夜色一区二区三区不卡| 国产自拍成人精品视频| 精品国产亚洲av未满十八| 国产男女猛进猛出精品91| 国产三级久久精品三级91| 麻豆一精品传二传媒短视频| 国产黄片自拍视频免费看|